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美光科技将引入极紫外光刻机,2024 年部署到部分工艺节点

2021/7/2 15:16:28 来源:TechWeb 作者:海蓝 责编:远洋

7 月 2 日消息,据国外媒体报道,在 2021 财年第三财季的财报分析师电话会议上,美光科技 CEO 兼总裁 Sanjay Mehrotra 透露,他们将引入极紫外光刻机。

从 Sanjay Mehrotra 在财报分析师电话会议上透露的消息来看,美光科技是计划 2024 年,在部分工艺节点部署极紫外光刻机,随后扩大到更多工艺节点。

Sanjay Mehrotra 还表示,他们一直在关注极紫外光刻机的进展,他们其实也在评估引入极紫外光刻机。

事实上,美光科技此前就曾表示他们将引入极紫外光刻机。Sanjay Mehrotra 在会上就提到,他们曾多次表示,当他们认为极紫外光刻机平台及生态系统变得更成熟的时候,他们就将在适当的时间点引入极紫外光刻机。

值得注意的是,美光科技并不是首家引入极紫外光刻机的存储芯片制造商,SK 海力士就已在他们的 M16 工厂安装极紫外光刻机,在 2 月份就开始试生产 1anm 的 DRAM,预计在今年 7 月份开始大规模生产。

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关键词:美光光刻机

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