TECHCET:晶圆厂需求旺盛,氖气,氦气等电子气体市场将继续保持中高速增长

2022/6/19 19:27:29 来源:爱集微 作者:Mike 责编:问舟

研究机构 TECHCET 日前发布报告,预测 2022 年全球电子气体市场规模将达到约 68 亿美元,同比增速达到 8%,并预计到 2026 年,电子气体市场规模将达到每年 90 亿美元。

TECHCET 称,市场增长动能主要源于特种气体,先进制程逻辑、存储产品工艺复杂,工序增加,带动刻蚀气、光刻气等各类特种气体需求,预计这一细分市场增速今年将达到 10%。

TECHCET 警告称,在供应方面,除氖气外,氦气也正遭受俄乌冲突影响,加之其他产区的生产、储运问题,使供应链进一步绷紧。

展望未来数年,随着全球新建晶圆产能陆续开出,三氟化氮 (NF3)、六氟化钨 (WF6) 、乙硼烷 (B2H6) 等关键气体供需也将随之紧张,TECHCET 特别指出,用于工艺腔室清洁的 NF3 可能出现供不应求。

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关键词:晶圆气体

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