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4.6亿元!长江存储“喜提”光刻机:可造14nm 3D闪存

2018/5/20 10:37:48来源:IT之家作者:马卡责编:马卡评论:

IT之家5月20日消息 5月16日,IT之家报道中芯国际(SMIC)已订购一套极紫外光刻(EUV)设备,这是目前最昂贵和最先进的芯片生产工具。据悉,这套EUV光刻设备向荷兰芯片设备制造商ASML购买,价值1.2亿美元。

根据最新的消息显示,日前长江存储也迎来了自己的首台光刻机,5月19日,光刻机已运抵武汉天河机场,设备相关的海关、商检及边防口岸的相关手续办理完成后,即可运至长江存储的工厂。

据悉,长江存储的首台光刻机同样来自ASML,为193nm浸润式光刻机,售价7200万美元,约人民币4.6亿元,用于14nm~20nm工艺。这也从侧面透露了长江存储3D NAND闪存芯片的工艺制程。

来自长江存储的官方消息,4月11日,国家存储器基地项目芯片生产机台正式进场安装,这标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进入量产准备阶段,中国首批拥有完全自主知识产权的32层三维NAND闪存芯片将于年内量产。

据悉,国家存储器基地于去年成功研发中国首颗32层三维NAND闪存芯片,这颗耗资10亿美元、由1000人团队历时2年自主研发的芯片,是我国在制造工艺上最接近国际高端水平的主流芯片。

关于长江存储:

受到紫光集团,国家集成电路产业投资基金,湖北地方集成电路基金,湖北科投共计240亿美元战略投资,长江存储科技有限责任公司于2016年7月正式成立。长江存储科技有限责任公司(长江存储)是一家集芯片设计、工艺研发、晶圆生产与测试、销售服务于一体的半导体存储器企业。

关于ASML:

ASML是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。

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关键词:长江存储NAND芯片

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