日韩两地齐增产,住友化学 ArF 用光刻胶有望扩产 1.5 倍

2021/9/1 17:39:12 来源:爱集微 作者:思坦 责编:信鸽

9 月 1 日消息 为应对当地芯片厂需求,日本大厂住友化学拟在韩国兴建先进半导体材料厂房,生产应用于最先进制程的光刻胶,同时在日本增加新产线,整体最先进制程用光刻胶产能有望扩增 1.5 倍。

▲ 图源:WBCSD

据 MoneyDJ 报道,住友化学 8 月 31 日宣布,将加强最先进制程用光刻胶生产,计划在日本大阪工厂增设 ArF 及 EUV 用光刻胶产线,预计在 2023 年上半年启用生产。同时,其位于韩国益山市的全资子公司 Dongwoo Fine-Chem 也将兴建浸润式 ArF 用光刻胶产房,预计在 2024 年上半年启用生产。

若上述计划进展顺利,到 2024 年,住友化学整体最先进制程用(ArF)光刻胶产能将较 2019 年提高 1.5 倍。

据了解,住友化学 ArF 用光刻胶目前仅由日本大阪工厂生产,由于在性能、品质上具有优势,全球市占率高,而韩国的 Dongwoo Fine-Chem 工厂此前为公司 i 线、KrF 用光刻胶生产据点,拥有 20 年以上的生产经验。

据日经新闻报道,此次住友化学决定在韩国兴建 ArF 用光刻胶工厂,是为因应当地客户希望其分散生产,借此稳定供货给韩国芯片厂使用。需要指出的是,此次住友化学增产的光刻胶产品不在日本对韩国出口管制的清单内。

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