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SK 海力士宣布业界率先完成氖气回收技术开发,每年可节省 400 亿韩元

2024/4/2 13:55:46 来源:IT之家 作者:溯波(实习) 责编:汪淼

IT之家 4 月 2 日消息,SK 海力士于昨日宣布,已与韩半导体行业特种气体制造商 TEMC 成功合作开发了业界首个氖气回收技术,每年可节省 400 亿韩元(IT之家备注:当前约 2.14 亿元人民币)。

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由于地缘政治环境变化,氖气等稀有气体供应紧张,价格飙升。韩国另一家半导体企业三星电子也计划在芯片生产中对氖气进行回收利用

氖气是准分子激光气体的关键成分,对于半导体光刻工艺必不可少。而作为一种稀有气体,氖气化学性质稳定,难以同其他物质发生反应,因此可通过分离纯化实现回收再利用

利用这一特点,SK 海力士同 TEMC 一道开发了系列氖气回收装置,将光刻工艺完成后环境中的氖气进行收集和选择性分离,分离后的气体由 TEMC 方面进行纯化,重新向 SK 海力士供应。

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目前这套氖气回收装置的整体回收率为 72.7%,SK 海力士计划未来将这一比例提升至 77%。

根据 SK 海力士方面的统计,该回收技术有望每年降低 400 亿韩元的氖气采购成本,并降低约 12000 吨二氧化碳当量的碳排放。

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关键词:SK海力士光刻氖气

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