比目前最先进的产品效率提高 18%,ASML 高数值孔径极紫外光刻机设计已基本完成

2020/12/29 10:29:59 来源:TechWeb 作者:海蓝 责编:问舟

12 月 29 日消息,据国外媒体报道,阿斯麦是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商,在推出 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 这两款极紫外光刻机之后,他们还在研发更先进、效率更高的极紫外光刻机

▲ 阿斯麦极紫外光刻机

在 10 月 14 日发布的三季度财报中,阿斯麦就披露他们新一代的极紫外光刻机 TWINSCAN NXE:3600D,计划在明年年中开始出货,生产效率较目前的产品提升 18%

而从外媒的报道来看,除了 NXE:3600D,阿斯麦还在研发高数值孔径的极紫外光刻机 NXE:5000 系列,设计已经基本完成

外媒在报道中也表示,虽然阿斯麦 NXE:5000 高数值孔径极紫外光刻机的设计已基本完成,但商用还需时日,预计在 2022 年开始商用

作为一款高数值孔径的极紫外光刻机,NXE:5000 系列的数值孔径将提高到 0.55,阿斯麦目前已推出的 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 这两款极紫外光刻机,数值孔径为 0.33。

值得注意的,在阿斯麦高数值孔径的极紫外光刻机方面,月初也出现过相关的消息。

在月初报道 CEO 彼得 · 维尼克等阿斯麦高管,到访三星电子并参观三星电子的半导体工厂时,外媒表示三星希望获得阿斯麦更多的极紫外光刻机、先于台积电获得高数值孔径极紫外光刻机。

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关键词:光刻机

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