中微公司发布用于深紫外 LED 量产的 MOCVD 设备 Prismo HiT3

2020/7/30 17:41:50 来源:IT之家 作者:骑士 责编:骑士

IT之家7月30日消息 中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称 “中微公司”)今日宣布推出 Prismo HiT3 MOCVD 设备,主要用于深紫外 LED 量产。

中微 Prismo 系列 MOCVD 设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光 LED 制造商,IT之家获悉,此次推出的 Prismo HiT3是中微 Prismo 系列 MOCVD 设备的最新产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备,反应腔最高温度可达 1400 度,具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备同时也为高产量而设计,单炉可生长 18 片 2 英寸外延晶片,并可延伸到生长 4 英寸晶片

中微公司 Prismo HiT3 MOCVD 设备早期的客户包括国内领先的深紫外 LED 制造商马鞍山杰生半导体有限公司,该公司的深紫外 LED 在家用、医疗和科研设备等领域有广泛应用。

深紫外光几十年前就被应用于工业和民用消毒杀菌领域。它通过破坏细菌和病毒的 DNA 使其丧失繁殖能力来发挥作用。深紫外 LED 被用于不同波长的杀菌灯中,且与传统的汞灯相比对环境无污染。类似 SARS、MERS 和新冠病毒的出现使得深紫外 LED 产品的需求激增,深紫外 LED 产品可以消灭这些新生微生物。波长 260-280nm 的 UVC 波段的深紫外光就是目前该领域最先进的技术解决方案(例如杰生半导体的深紫外 LED 产品)。

中微公司设计的 Prismo HiT3 MOCVD 设备具有新颖腔体设计,能在高温环境下生长高质量氮化铝工艺,并具有业内领先的深紫外 LED 高产出率;同时具备较长的平均免开腔维护间隔时间,进一步延长正常运行时间并提高产能。真空自动化传输系统可以抑制颗粒物的产生,并减少缺陷。自动化升降机构可方便维护操作并有效节省维护时间。

中微公司表示,“中微自主研发的 Prismo HiT3 MOCVD 设备延续了我们现有 Prismo 平台已验证的主要创新功能,并提升了可在高温工艺环境下生长氮化铝基材料的性能,使之拓展到深紫外 LED 的应用。”

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关键词:半导体LED

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