来的及时,晶瑞股份顺利购得 ASML XT 1900Gi 型光刻机一台,今日正式运达

2021/1/19 21:08:59 来源:IT之家 作者:问舟 责编:问舟

IT之家1月19日消息 晶瑞股份今日发布公告:经多方协商、积极运作,该公司顺利购得 ASML XT 1900 Gi 型光刻机一台。

▲ 图文无关

该光刻机于 2021 年 1 月 19 日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室,即将组织调试。此外,这款  ASML XT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻机可用于研发最高分辨率达 28nm 的高端光刻胶。

IT之家了解到,晶瑞股份于 2020 年 9 月 28 日晚发布公告称,将开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目,拟通过 Singtest Technology PTE. LTD. 进口韩国 SK Hynix 的 ASML 光刻机设备,总价款为 1102.5 万美元(折合 7508 万人民币)。

ASML XT 1900 Gi 型光刻机并非先进工艺光刻机,但也实属不易,在这关键时刻也算意义重大。

以下为官方原文:

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关键词:光刻机

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